5-осни глодани керамички изолатори за полупроводничку опрему и чисте собе

У свету производње полупроводника и чистих просторија са високим улозима, свака компонента мора да пружи беспрекорне перформансе.ПФТ, специјализовани смо за занатство5-осни глодани керамички изолаторикоји редефинишу прецизност и поузданост. Са преко 20+Са вишегодишњим искуством, наша решења су пројектована да задовоље захтеве полупроводничке опреме, обезбеђујући термичку стабилност, електричну изолацију и рад без контаминације у изузетно осетљивим окружењима.

Зашто изабрати наше керамичке изолаторе глодане са 5 оса?

1.Напредне производне могућности

Наш објекат је опремљен санајсавременије 5-осне CNC глодалице, што омогућава микронску тачност у обликовању напредне керамике попут алуминијумског оксида (Al₂O₃), силицијум карбида (SiC) и алуминијум нитрида (AlN). За разлику од конвенционалних метода, петоосна обрада омогућава сложене геометрије – кључне за компоненте попут иглица за подизање плочица, делова коморе за таложење и изолатора отпорних на плазму.

Кључне карактеристике:

•Прецизност:Толеранција од ±0,005 мм за беспрекорну интеграцију у ASML литографске алате или Lam Research системе за нагризање.
•Свестраност материјала:Оптимизовано за 99,8% алуминијума, високочисти SiC и друге напредне керамике.
•Површинска завршна обрада:Ra <0,2μm ради минимизирања стварања честица у чистим просторијама ISO класе 1.

2.Власнички процесни инжењеринг

Наши инжењери су развиликонтроле процеса затворене петљекоје се прилагођавају кртости керамике током обраде. Комбиновањем техника сувог глодања са пригушивањем вибрација у реалном времену, постижемо површине без пукотина и продужени век трајања компоненти - чак и под екстремним термичким циклусима (до 1.600°C).

Иновације у фокусу:

•Протоколи за ублажавање стреса:Минимизирајте микропукотине у AlN изолаторима за CVD примене.
•Обрада након машинске обраде:ХИП (топло изостатско пресовање) повећава густину и отпорност на корозију.

3.Ригорозно осигурање квалитета

Сваки изолатор пролази кроз12-степена инспекција, укључујући:

•CMM (координатна мерна машина)валидација критичних димензија.
•Тестирање цурења хелијумаза компатибилност са вакуумом.
•EDS (енергетски дисперзивна рендгенска спектроскопија)да се потврди чистоћа материјала.

НашСистем сертификован по ISO 9001/14001обезбеђује праћење од набавке сировина (набављених од добављача првог нивоа као што је CoorsTek) до финалног паковања.

Примене: Где се прецизност сусреће са перформансама

Наши изолатори су поуздани у:

•Алати за нагризање и депозицију:Компоненте обложене SiC-ом за отпорност на плазму у Applied Materials™ модулима.
•Јонски имплантатори:Алуминијумске иглице за подизање са антистатичким премазом спречавају клизање плочице.
•Метролошки системи:Изолатори са ниским термичким ширењем за EUV литографске постоља.

Студија случаја:Водећи произвођач оригиналне опреме полупроводника смањио је време застоја алата за 40% након преласка на наше SiC тушеве дизајниране по мери, који су надмашили конкурентске делове у обради плочица од 300 мм.

Више од производње: Партнерски приступ

•Брза израда прототипова:Пошаљите своје CAD датотеке и добијте функционалне прототипове за 7 дана.
•Паковање за чисте просторије на лицу места:Опциони склоп за чисте просторије класе 10 за директну интеграцију алата.
•Доживотна техничка подршка:Наши инжењери пружају анализу хабања и услуге поновне обраде како би продужили животни циклус компоненти.